超純水（也稱為高純水、超純凈水或純化水）是通過一系列特殊工藝處理普通水，去除幾乎所有的雜質和溶解性物質，使其純度極高。以下是通常用于制備超純水的主要工藝流程：

原水供應：從自來水源或其他水源獲取原水。這些水源中通常含有溶解性固體、微生物、有機物、溶解氣體等雜質。

預處理：原水經過預處理步驟，去除其中的懸浮顆粒、氯、有機物等。預處理通常包括顆粒過濾、活性炭吸附和消毒等步驟。

反滲透（RO）：預處理后的水被送入反滲透膜過濾系統。RO是超濾技術的一種，利用半透膜來過濾水中的溶解性固體和離子。這個步驟能有效去除大部分離子、細菌、病毒、有機物和大多數溶解性固體。

離子交換（DI）：RO處理后的水通常還包含少量的離子和有機物。為了進一步提高水的純度，水會通過離子交換樹脂床，去除殘留的離子和其他雜質。這一步驟產生的水通常稱為去離子水（DI水）。

消毒：為確保水的終端使用安全，最后一步通常是對水進行消毒，去除可能的微生物污染。常見的消毒方法包括紫外線輻射、臭氧處理或使用消毒劑（例如過氧化氫）。

精確控制：整個制備過程需要進行嚴格的控制和監測，以確保水的質量穩定，并且符合特定的應用要求。

請注意，制備超純水的工藝流程可能因不同的應用和設備而有所變化，而上述流程是一種常見的工藝流程。實際的超純水制備過程可能會根據需求進行調整和優化，以滿足特定的純水要求。