高頻科技實驗室超純水機專注半導體高端制造業,擁有二十多年的歷史與技術沉淀,為半導體高端制造等行業客戶提供超純水與循環再生解決方案及裝備。經過不斷的更迭進步,已經掌握了先進半導體制程所需的超純水全部核心工藝。超純水設備
PPT級別的硼、硅等特殊物質的去除方面。通過過硬的技術把控力和工程實踐經驗,針對有機物(TOC)、顆粒物、細菌、金屬和陰離子等影響良率的主要雜質,已經實現行業的技術成果,產水水質接近絕對純度,電導率無限接近18.25MΩ?厘米的理論極限值,其純度可達99.9%。
為提升工業用水效能,高頻科技依托自有優秀半導體純水系統專家,在確保超純水水質純度穩定達標的基礎之上,研發交付了超過30種可選回用水工藝技術,包括砂濾及碳濾器反洗水回用、砂濾及碳濾器正沖水回用、反滲透濃縮水回用、EDI和UF濃縮水回用、反滲透沖洗水回用、冷卻塔排放水回用、低濃度有機廢水回用等,已實現水制程回收率達75%-90%,讓每一滴超純水都可以循環再利用。
高頻科技將在超純工藝上持續深耕,加強創新,與材料和設備供應商密切合作,為客戶提供高價值、高效益的解決方案,提升超純水水質指標,助力企業降本增效,賦能半導體產業不斷向精細化制程邁進。