超純水設備的使用時間較長，或進水水質不合格，都會對管道以及一些設備及部件造成損壞，同時可能會導致管道的內測附有污染物，這些污染物會影響出水水質，因此超純水設備的管道要及時清洗。

第一遍清洗：第一遍清洗前應在不銹鋼濾筒里的安裝使用過的微孔濾棒專供清洗使用，清洗完成后正式使用前方更換全新微孔濾棒;注意在清洗的過程中禁止雙氧水溶液和樹脂罐的接觸。

第二、三遍清洗：使用雙氧水溶液重復清洗管道半個小時。清洗結束后關閉供回主管閥門，讓雙氧水溶液浸泡管道一個小時。

第四遍清洗：采用一邊沖洗一邊放水的方式，并且保證沖洗時間在八小時以上。

需要注意：

1.雙氧水溶液具有強氧化性、漂白性，對人體有刺激性，所以在清洗的過程中建議帶上橡膠手套、避免直接接觸。
2.設備是全新的狀態下，建議在安裝膜元件之前管道也要進行充分的清洗。