半導體行業高度依賴超純水系統。超純水在晶圓清洗、濕法蝕刻、化學機械拋光等關鍵工藝中起關鍵作用,確保器件性能和制造精度。系統通過多級純化工藝達到高純度要求,具有穩定性、可靠性、安全性和環保性。隨著半導體技術發展,超純水需求增長,對系統純度和穩定性提出更高挑戰。超純水系統為半導體制造提供高質量水源,推動行業進步。
使用單位:某半導體企業西安工廠
安裝設備:艾柯實驗室超純水系統
設備型號:AK-RO-UP-500
制水量:500L/H
安裝時間:2024年10月23日
客戶單位成立于2001年, 是一家專注技術創新的科技公司,在安防、智能物聯領域耕耘二十余年, 產品和解決方案應用在150多個國家和地區,致力于將物聯感知、人工智能、大數據技術服務于千行百業,引領智能物聯新未來。
此次安裝的艾柯AK-RO-UP-500實驗室超純水系統,具備每小時生產500升高品質純水的能力,它集成了全自動水處理技術的核心優勢。從預處理到超純化,系統的每一步都實現了精確控制,以確保水質達到最佳狀態。其高度自動化的設計大幅減少了人工操作的需求,同時,高效的節水設計也顯著降低了運行成本。系統內置了智能監控功能,能夠實時監測液位、壓力和水質,從而確保系統的安全穩定運行。此外,該系統還支持根據實驗室的具體需求進行個性化定制,以滿足各種多樣化的用水需求。艾柯超純水系統憑借其智能化和高效能的顯著特點,為科研創新活動提供了穩定且可靠的純凈水資源。
在半導體制造行業中,超純水的重要性無可替代,其應用范圍既廣泛又深入。在半導體生產的各個環節中,超純水扮演著至關重要的角色。作為清洗、蝕刻、摻雜等關鍵步驟的媒介,超純水確保了芯片制造過程的精確與高效。它能夠徹底清除可能影響半導體元件性能的任何雜質,為制造出高質量的半導體產品提供了堅實的保障。
在半導體的研發與測試階段,超純水同樣至關重要。它被廣泛用于精密儀器的清洗與維護,以確保測量與測試的準確性;同時,作為化學試劑配制、樣品稀釋與校準的基礎,超純水保障了實驗數據的可靠性與可重復性,為半導體技術的研發提供了有力的支持。
隨著半導體行業的不斷發展,對超純水的需求也在持續增長。為了應對這一挑戰,企業不斷致力于提升超純水的制備技術,優化生產工藝,以提高資源利用效率。同時,加強廢水處理與回收利用也成為了行業關注的重點,旨在實現半導體制造的可持續發展。
艾柯實驗室超純水系統采用全自動水處理系統設計,系統以預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等主要工藝組成,系統具有自動化程度高,系統穩定性高,水利用率高,大大節省人力成本和維護成本,運行可靠。設備水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表,具有更高的性價比和可靠性。系統制水量可根據客戶需求定制,滿足實驗室純水/超純水的用水需求。
性能特點
全自動前期預處理系統
全自動多介質過濾器,全自動活性碳過濾器,全自動軟化器、精密過濾器等構成前期預處理系統,高效去除水中的大顆粒雜質,對RO膜進行保護。
RO反滲透主機系統
配備保安過濾裝置對0.01um以上顆粒實現99.9%的攔截率對RO膜進行保護,同時自動反沖洗RO反滲透膜,延長RO反滲透膜的使用時間。
全自動系統檢測控制功能
水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表,運行更加的穩定可靠。
在線水質檢測功能
系統可同時檢測顯示純水/超純水電導率、溫度的水質以及電阻率,可隨時了解水質情況。